本书主要介绍薄膜晶体管(TFT)集成电路技术领域的基础知识和作者在该领域的代表性研究成果。内容涵盖图像显示和图像传感器件所需的TFT集成电路技术,如像素TFT电路、行驱动(扫描)TFT电路以及列(数据)驱动TFT电路等。全书共5章,分别为:薄膜晶体管(TFT)概述,有源矩阵液晶显示(AMLCD)TFT电路,有源矩阵有机发光二极管(AMOLED)显示TFT电路,有源矩阵微型发光二极管(AM-MLED)显示TFT电路,以及X射线成像探测器TFT电路。各章均分别以非晶硅TFT、低温多晶硅TFT、氧化物TFT以及低温多晶硅与氧化物混合TFT为集成器件,系统分析和详细讨论相应TFT电路的工作原理和设计 思路,并给出若干电路实例。
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北京大学 博士学位
东南大学 学士和硕士学位1984-07-01 / 1985-12-31,原国家航空工业部,北京航空工艺研究所 (625所),助理工程师
1986-01-01 / 1999-09-30,原国家电子工业部,南京电子器件研究所 (55所),工程师
2000-09-01 / 2002-06-30,香港科技大学,电机与电子工程系,访问学者
2002-07-01- 今, 北京大学信息科学技术学院,微电子系,副教授、教授
2009-01-01- 今, 北京大学 深圳研究生院,信息工程学院,教授专著:《三维结构MOS晶体管技术研究》 高等教育出版社 2005国务院政府特殊津贴专家、深圳市国家级领军人才
IEEE EDL编委(半导体领域顶级期刊)、IEEE EDS&SSC 深圳地区主席
SID 国际技术委员会委员、SID中国南区副主席
国家平板显示工程技术中心、AMOLED国家工程实验室等专家委委员
目录
前言
第1章 薄膜晶体管(TFT)概述 1
1.1 非晶硅(a-Si)TFT 1
1.1.1 材料特性 1
1.1.2 器件结构与工艺 5
1.1.3 器件电学性能 9
1.2 多晶硅(p-Si)TFT 17
1.2.1 材料特性 17
1.2.2 器件结构与工艺 18
1.2.3 器件电学性能 23
1.3 非晶氧化物TFT 30
1.3.1 材料特性 30
1.3.2 器件结构与工艺 34
1.3.3 器件电学性能 38
1.4 本章小结 45
参考文献 46
第2章 有源矩阵液晶显示(AMLCD)TFT电路 50
2.1 AMLCD简介 50
2.2 AMLCD像素电路 52
2.2.1 非晶硅(a-Si)TFT像素电路设计 52
2.2.2 多晶硅TFT像素电路设计 60
2.2.3 氧化物TFT像素电路设计 62
2.3 TFT集成的行驱动电路 64
2.3.1 a-Si TFT集成行驱动电路 65
2.3.2 LTPSTFT集成行驱动电路 85
2.3.3 氧化物TFT集成行驱动电路 89
2.4 TFT集成的列驱动电路 105
2.4.1 非晶硅TFT集成列驱动电路 106
2.4.2 多晶硅TFT集成列驱动电路 109
2.4.3 氧化物TFT集成列驱动电路 113
2.5 本章小结 116
参考文献 116
第3章 有源矩阵有机发光二极管(AMOLED)显示TFT电路 120
3.1 AMOLED显示原理 120
3.2 AMOLED像素电路补偿原理 124
3.2.1 电流编程补偿原理 124
3.2.2 电压编程补偿原理 127
3.2.3 电流电压混合编程型补偿原理 131
3.2.4 外部补偿原理 131
3.2.5 不同类型像素电路的比较 132
3.3 AMOLED像素电路 133
3.3.1 多晶硅TFT像素电路 133
3.3.2 氧化物TFT像素电路 142
3.3.3 LTPOTFT像素电路 160
3.4 集成行驱动电路 167
3.4.1 LTPSTFT集成的行驱动电路 168
3.4.2 氧化物TFT集成行驱动电路 172
3.4.3 LTPOTFT集成行驱动电路 183
3.5 集成列驱动电路 189
3.5.1 多晶硅TFT集成列驱动电路 189
3.5.2 多晶硅TFT集成列线选择开关模块 193
3.6 本章小结 194
参考文献 195
第4章 有源矩阵微型发光二极管(AM-MLED)显示TFT电路 198
4.1 AM-MLED 显示简介 198
4.2 AM-MLED显示驱动原理 201
4.2.1 PAM驱动原理 202
4.2.2 PWM驱动原理 204
4.2.3 数字式PWM驱动原理 206
4.2.4 模拟式PWM驱动原理 207
4.2.5 数模混合式PWM驱动原理 208
4.2.6 脉冲混合调制(PHM)驱动原理 210
4.3 AM-MLED显示像素电路 211
4.3.1 LTPSTFT 像素电路 211
4.3.2 非晶氧化物(AOS) TFT像素电路 219
4.3.3 LTPO TFT 像素电路 240
4.4 AM-MLED显示的TFT集成行驱动电路 244
4.4.1 多晶硅TFT集成行驱动电路 245
4.4.2 氧化物TFT集成行驱动电路 248
4.5 本章小结 255
参考文献 255
第5章 X射线成像探测器TFT电路 258
5.1 X射线成像技术概述 258
5.2 X射线成像原理 260
5.2.1 直接与间接探测成像 260
5.2.2 无源和有源像素探测 264
5.2.3 探测器主要性能参数 265
5.3 无源像素探测(PPS) TFT电路 267
5.3.1 基于光电二极管(PD)的PPS电路 267
5.3.2 基于光电晶体管(PT)的PPS电路 274
5.4 有源像素探测(APS) TFT电路 283
5.4.1 基于光电二极管(PD)的APS电路 286
5.4.2 基于光电晶体管(PT)的APS电路 297
5.5 行驱动电路与外围读出电路 304
5.5.1 TFT集成的行驱动电路 304
5.5.2 外围读出电路 307
5.6 本章小结 310
参考文献 310