金刚石膜的应用与抛光技术

定　　价：188 元

• 作者：苑泽伟
• 出版时间：2023/5/1
• ISBN：9787030738448
• 出 版 社：科学出版社

• 中图法分类：TB43 
• 页码：328
• 版次：31
• 开本：B5

内容简介

金刚石作为第四代半导体材料，具有极其优越的物理化学特性，在诸多高科技领域具有很好的应用前景。金刚石抛光技术的研究不但突破了金刚石在高科技领域的应用瓶颈，还带动了一些新工艺、新方法和新技术的发展。本书以作者多年的科研成果为基础，汇集国内外金刚石领域的**进展，全面系统地对金刚石应用和抛光技术的重要成果进行了归纳和总结，内容主要包括：金刚石的结构及性能，金刚石膜的应用，金刚石膜的制备技术，金刚石膜的去除机理与抛光理论，金刚石膜的机械抛光技术、摩擦化学抛光技术、化学机械抛光技术、光催化辅助抛光技术及特种抛光技术，金刚石相关材料应用及加工技术。

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