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单晶硅超精密加工技术仿真

单晶硅超精密加工技术仿真

定  价:69 元

丛书名:制造业高端技术系列

        

  • 作者:史立秋
  • 出版时间:2020/5/1
  • ISBN:9787111650911
  • 出 版 社:机械工业出版社
  • 中图法分类:TQ127.2 
  • 页码:108
  • 纸张:
  • 版次:
  • 开本:16开
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读者对象:事超精密加工技术研究的科研工作者、工程技术人员或高校教师、本科生、研究生

单晶硅作为一种典型的硬脆半导体材料,广泛应用于微电子领域。超精密加工技术可以实现硅表面的高质量加工,但加工方法需要很高的实验条件和工作成本。本书以材料力学、超精密加工等学科为理论基础,建立单晶硅超精密车削的有限元和分子动力学模型,优化切削参数以及刀具参数,解决传统研究中只能通过大量实验来确定*优工艺参数的弊端,降低实验成本,提高加工效率。
本书适合从事超精密加工技术研究的科研工作者、工程技术人员或高校教师、本科生、研究生阅读,也可以作为科普读物,加深读者对这一领域的了解。
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